1）物镜可切换多种倍率：5X、10X、20X、50X（选配）、100X（选配）；

2）配备LED亮度可程控冷光源：包括落射光源、轮廓底光源及辅助光源三种光源；

3）单视野范围内测量精度±1 μm，重复精度±0.5 μm，加装光谱共焦位移传感器可测高度、深度、平面度，测量精度±1 μm；

4）支持二维码识别，芯片端面自动截图及瑕疵检测（定制功能）。

5）测量数据支持读取处理，便于客户建立测量数据管理系统，对接内部ERP系统，从而帮助客户提升制造业信息化、智能化水平。