XP-63X 压电纳米定位台为压电陶瓷直驱 X 轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维 XY、三维 XYZ 纳米定位台。
特点：
• 1~3 维自由组合
• 最大行程 60μm
• 最大承载 5kg
• 重复定位精度可达 0.05%F.S.
• 亚毫秒响应时间
技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-631.XS XP-631.XK | 单位 |
运动自由度 | X | ||
标称行程范围（0~120V） | 24 | μm±20% | |
行程范围（0~150V） | 30 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 1/0.2 | nm | |
闭环线性度 | 0.15/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <25 | μrad | |
推/拉力 | 480/80 | N | |
运动方向刚度 | 20 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 2.4 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 3/1.6 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% |
100%行程 | 30 | ||
承载能力 | 5 | kg | |
静电容量 | 3.6 | μF±20% | |
材质 | 铝 | ||
重量 | 250 | g±5% | |