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主动隔振技术

高精度设备的完美解决方案

由于高分辨率测量和制造工艺已经达到了纳米级别，震动就成为了一个主要问题。要想得到精确的、可重复性的结果，关键在于有效消除震动干扰。其方法就是为被隔振物在震源处做振动隔离。典型的震动干扰来源可能是：

1>建筑大楼和地面振动(垂直:5 – 30 Hz,水平:0.5 – 10 Hz)；

2>声音振动(> 20 Hz)；

3>机械设备和机器振动(10 – 500 Hz)；

主动隔振是通过产生反作用力对震动干扰进行主动补偿，被隔离物体和隔振桌面由弹簧支撑，以达到主动隔振浮起状态的基本要求。平台内部安装有极其敏感的传感器，能快速检测出外界微幅振动，迅速的输出信号给控制器解析，从而驱动电动制动器实时输出反的作用力来实现6自由度有效隔振功能。

特点:

1.不需压缩空气–仅需电源,与空气阻尼系统相反–没有自然低频共振,即使在低频范围内也能实现优异的隔振性能。

2.对比普通的被动隔振恢复时间 30-60s，主动隔振恢复时间极短，只有0.3s。

3.主动带宽 0.6 Hz to 200 Hz(在被动隔振之下)，对于隔离来自建筑振动对高分辨率测量设备的影响是理想选择。

4.主动6自由度隔振，隔振效率：＞5Hz=25dB(94.4%),＞10Hz=40dB(99%)。

5.瞬间产生反作用力补偿振动-实时主动隔振。

6.操作简单–按下按钮即可使用。