MTF曲线MTF（最大支持自动测量

•景深•场曲•象散•像面方位角•像面倾斜•对测试结果自动判断，最多支持

产品型号

ImageMaster^®

PRO 9

ImageMaster^®

PRO 5 Ultra

ImageMaster^®

Compact PRO

ImageMaster^®

PRO 5 Wafer

测量模式

有限-无限轭

有限-无限轭

有限-无限轭

有限-无限轭

支持相机数量

9/13/17/21/25

9/13/17/21

9/13

9/13/17/21

最大视场角

165°

165°

100°

165°

空间频率

0...600  lp/mm

0...400  lp/mm

0...250  lp/mm

0...300  lp/mm

轴上MTF测量精度

1%MTF

2%MTF

2%MTF

2%MTF

离轴MTF测量精度

2% MTF

3% MTF

4% MTF

3% MTF

EFL测量精度

5μm

5μm

5μm

5μm

FFL测量精度

8μm

8μm

8μm

8μm

平均测量时间

1.5秒

3秒

4秒

3秒

托盘尺寸

150mmx150mm

150mmx150mm

225mmx225mm

托盘（2种类型）

150mmx150mm

8英寸Wafer

12英寸Wafer

倾斜校正功能

有

无

无

无

超净间等级

FS 209 / ISO  14644-1

100 / ISO  5

100 / ISO  5

100 / ISO  5

100 / ISO  5

测量进度监控

实时显示进度

三色状态指示灯

三色状态指示灯

三色状态指示灯

尺寸(h × w × d)mm

1350 x  1330 x 805

1350 x  1330 x 660

650 × 682  × 610

1350 x  1330 x 660

重量

210  kg

210  kg

90  kg

190  kg