典型应用：精密制造、计量检测、变形监测、显微镜、材料测试、震动检测。
被测物体与传感器各自作为一个平板电极。通过给传感器一个持续稳定的交流信号，其电压的振幅变化与传感器到被测物体之间的距离成正比。交流信号经过解调，可以测出位移量。电容式位移传感器具有信噪比大，灵敏度高，频响宽，非线性小，精度稳定性好，无损耗等特点。
NS-DCS14 尺寸图
型号 | NS-DCS14-20 | NS-DCS14-100 | NS-DCS14-200 | NS-DCS14-400 |
量程范围 ( μm ) | 20 | 100 | 200 | 400 |
分辨率RMS ( nmHz -1/2 ) | <0.01 | <0.03 | <0.05 | <0.10 |
线性度 ( % ) | 0.06 | 0.08 | 0.10 | 0.20 |
传感器有效面积 ( mm2 ) | 72 | 72 | 72 | 72 |
带宽 ( kHz ) | 10 | 10 | 10 | 10 |
工作温度范围 (℃ ) | 0～50 | 0～50 | 0～50 | 0～50 |
电压输出范围 ( V ) | -10～10/-5～5/0～10 | -10～10/-5～5/0～10 | -10～10/-5～5/0～10 | -10～10/-5～5/0～10 |
供电电压 ( V ) | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 |
传感器线长 ( m ) | 2 | 2 | 2 | 2 |
传感器材料 | AL/Invar | AL/Invar | AL/Invar | AL/Invar |