驱动方式

微分头

微分头

微分头

操作位置

左侧

左侧

左侧

Z小读数

10μm/刻度

10μm/刻度

10μm/刻度

工作台面

60x60mm

80x80mm

125x125mm

行程

±6.5mm

±12.5mm

±12.5mm

导轨

十字交叉滚柱导轨

十字交叉滚柱导轨

十字交叉滚柱导轨

承重

3kgf（29.4N）

4kgf（29.4N）

平行：20kgf（196N）

移动精度

直线度

3μm

3μm

3μm

上下摆动

40″

40″

50″

左右摆动

20″

20″

30″

平行度

50μm

50μm

30μm

运动的平行度

20μm

20μm

10μm

自重

0.4kg

1.8kg

1.0kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理

铝-黑色阳极氧化处理

铝-黑色阳极氧化处理

台面尺寸

60×60mm

80×80mm

100×100mm

125×125mm

Z小读数

≒55”/圈

≒45”/圈

≒32”/圈

行程

±5°

导轨

双轴承

承重

3kgf(29.4N)

4kgf(39.2N)

5kgf(49N)

平行度

20μm

偏心量

50μm

自重

0.25kg

0.45kg

0.45kg

0.82kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理