驱动方式

微分头

操作位置

中心

右侧

左侧

ZUI小读数

10μm/刻度

工作台面

80×80mm

行程

±12.5mm;

导轨

十字交叉滚柱导轨

承重

4kgf(39.6N)

移动精度

直线度

3μm

上下摆动

40’’

左右摆动

20’’

平行度

50μm

运动的平行度

20μm

自重

1.8kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理