驱动方式

微分头

Z小读数

10μm/刻度

台面尺寸

60x60mm

行程

0~6mm

导轨

直线滚珠导轨（双）

承重

10kgf（98N）

运动精度（直线度）

3μm

平行度

100μm

运动平行度

20μm

自重

0.68kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理