驱动方式

微分头

操作位置

中心

右侧

左侧

Z小读数

                          10μm/刻度

工作台面

                           40*40mm

行程

±6.5毫米

导轨

交叉滚柱导轨

承重

1kgf(9.8N)

移动精度

直线度

3μm

上下摆动

25’’

左右摆动

15’’

垂直度

80μm

运动的垂直度

30μm

自重

0.2Kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理