驱动方式

微分头

操作位置

中心

右侧

左侧

Z小读数

                          10μm/刻度

工作台面

                           80*80mm

行程

±12.5毫米

导轨

交叉滚珠导轨

承重

5kgf(49N)

移动精度

直线度

3μm

上下摆动

25’’

左右摆动

15’’

平行度

80μm

运动的平行度

30μm

自重

0.95Kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理