移动方向

XYθ轴三个方向

主体材质

铝合金（黑色阳极）

驱动方式

微分头

台面大小

φ60

φ80

φ90

行程

XY轴±6.5mmθ轴：360°粗调；±5°精调

XY轴±12.5mmθ轴：360°粗调；±5°精调

负载

29.4N(3kgf)

39.2N(4kgf)

29.4N(3kgf)

Z小刻度

0.01mm

重量

0.64kg

1.57kg

1.50kg