驱动方式

微分头

操作位置

粗调：中心 微调：右

粗调：中心 微调：左

粗调：中心 微调：右

粗调：中心 微调：左

z小读数

粗调：10μm/刻度 微调：0.5μm/刻度

工作台面

60×60mm

行程

粗调：±6.5mm 微调：±0.3mm

导轨

交叉滚柱导轨

承重

5kgf(49N)

2kgf(19.6N)

移动精度

直线度

2μm

上下摆动

20”

左右摆动

10”

平行度

30μm

70μm

运动的平行度

10μm

15μm

自重

0.35kg

0.5kg

材料表面处理

铝-黑色阳极氧化处理