台面尺寸

40×40mm

60×60mm

升降行程

6mm

10mm

传动方式

1/2楔形，研磨丝杆，螺距1mm

1/2楔形，研磨丝杆，螺距1mm

导轨形式

精密交叉滚柱导轨

精密交叉滚柱导轨

主要材质

航空铝材（6061）

航空铝材（6061）

主要材质表面处理

黑色阳极氧化

黑色阳极氧化

仪器重量

0.3Kg

0.7Kg

中心负载

2.5Kg

4Kg

分辨率8细分/整步

0.000625mm/0.005mm

0.000625mm/0.005mm

Z大速度

5mm/sec

5mm/sec

单向定位精度

≤50μm

≤50μm

重复定位精度

≤20μm

≤20μm

空回间隙

≤10μm

≤10μm

表面跳动

≤30μm

≤30μm

电机类型

双出轴20步进电机

双出轴20步进电机

电机步进角

1.8°

1.8°

额定工作电流

1A

1A

电源电压

24V±10%

24V±10%

接头

DB9针接头

DB9针接头

限位开关

光电开关

光电开关