结

构

描

述

X，Y轴行程

50 mm

台面尺寸

155×155mm

螺杆规格

自加工丝杆副

进口高研丝杆副

导轨

高级交叉滚柱导轨

精密级交叉滚柱导轨

步进电机（步距角）

国产普通28（1.8°）电机

日本信浓28（1.8°）电机

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

台面承载（kg）

10

重量(kg)

3.2

精

度

描

述

分辨率

5μm（无细分） ,0.625μm (8细分）

Z大速度

6mm /sec

重复定位精度

40μm

8μm

对定位精度

50μm

10μm

直线度

5μm

运动平行度

15μm

俯仰

50″

偏摆

25″

回程间隙

2μm

丢步

2μm

可加装光栅尺(G)

可换装伺服电机(D)