产品描述:

 

纳米位移台是一种机械装置,内部有一个或多个压电陶瓷,由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器,闭环控制时,传感器技术在保证线性度的前提下,可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。

控制器为纳米位移台提供电源。在闭环控制时,纳米位移台内部的传感器为控制器提供位移数据。控制器周期性的处理位移数据并修正输出电压信号,从而使位移数据与指令数据相同。

纳米位移系统通常作为大型设备的一个部件,因而纳米位移系统与其他硬件良好配合是相当重要的。控制器对外通信方式有多种,常用的方式是通过BNC模拟信号(-10V~10V)控制纳米位移台的位移。还可以通过USB接口和数字IO实现与控制器的通信。控制器内部软件实现了基于PID算法、陷波滤波器的闭环控制,内部集成了正弦波、方波和三角波的波形发生器。

 

产品参数:

型号

PT-NM100

PT-NM100Z15

运动轴

X/Y

X/Y/Z

传感器类型

电容式

电容式

闭环行程

100/100μm

100/100/15μm

闭环分辨率

0.5/0.5nm

0.5/0.5/0.1nm

线性度

0.02/0.02%

0.02/0.02/0.03%

无载谐振频率

850/850Hz

600/600/900Hz

驱动电压

-30~+150V

-30~+150V

电缆长度

2m

2m

连接器类型

D-sub15

D-sub15

位移台材料

铝合金

铝合金

Z大负载

5kg

5kg

体积

140 x 140 x 20.8mm

140 x 140 x 30.2mm

产品尺寸图:

PT-NM100

PT-NM100Z15