干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度很高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的景深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒的时可将镜头直接装配到C接口相机上。

型号

CCW-310

CCW-311

CCW-312

CCW-313

CCW-314

CCW-788

放大率:

2.5X

5X

10X

20X

50X

100X

数字孔径

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

0.7

景深(μm)

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

0.56

水平视场, 1/2"传感器

2.56mm

1.28mm

0.64mm

0.32mm

0.13mm

0.08mm

水平视场, 2/3"传感器

3.52mm

1.76mm

0.88mm

0.44mm

0.18mm

0.011mm

视场，20直径视场目镜(mm)

8

4

2

1

0.4

0.2

视场，25直径视场目镜(mm)

10

5

2.5

1.25

0.5

0.25

焦距FL (mm)

80

40

20

10

4

2

安装螺纹

M27 x 0.75

RMS

RMS

RMS

RMS

RMS

分辨能力(μm)

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

0.4

类型

Michelson

Michelson

Mirau

Mirau

Mirau

Mirau

重量(g)

440

280

125

130

150

200

工作距离(mm)

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2

Nikon 200mm 管镜

Nikon CFI60无限远校正明场物镜符合先进的成像要求，是Nikon很好的光学技术。由于采用了60mm齐焦距以及较粗的直径，Nikon CFI60无限远校正明场物镜可提供更高的亮度，以及极限的工作距离和数值孔径NA（聚光能力）。这款物镜旨在校正整个视场上的横向和轴向色差，从而获得兼有高对比度和高分辨率的图像。

尼康镜筒可用来会聚从远场校正镜头到像面的光束。由于光学性能，从镜筒到物镜定位处应保持在100-200mm之间，这样空间可允许本附件插入光路并适用参数要求。这款管镜可以集成到 C 接口系统，方法是将 Nikon 管镜固定到 C 接口安装座。