产品名称: 步进电机升降台Z-Stage 5103.D40
产品编号: Z-Stage 5103.D40
台面尺寸: 540 x 540mm
行程: 120mm
最大载重: 500kg
分辨率:
重复定位精度: ±0.1um
真空选项:
反馈: