从成像到全套实验室应用:卓越的亚纳米级分析能力


配备 GEMINI II 镜筒的 MERLIN 可以借助先进的探测模式和‘future assured’技术在单一系统平台上实现超快速分析与高分辨成像

经过预校准的 GEMINI II 光学成像设置,如电压或探针电流,能够根据您的需求进行调整以满足应用和样品要求,且无需再重新校准。即便无经验的用户也能获得最佳成像结果。经系统优化后的高束流密度、300 nA 探针电流及高束流下的超高分辨率,确保了在纳米级分析应用中的快速成像

利用 正光轴 in-lens 二次电子(SE)探测能量选择背散射(EsB)探测获取最丰富的样品信息,用以检测材料组份中最细微的差异。

Merlin具有全方位的灵活性,满足您的各种应用需求,Merlin借助模块化的样品室设计、可变压力选件,15个端口及一系列特定应用模块,如原子力显微镜(AFM)、原位超薄切片机、大面积成像以及能够轻松应对非导电样品的局部电荷中和模块,它能够升级成为一个综合的纳米分析平台。

参数

分辨率
高达 0.6nm(STEM 模式)
探针电流
高达 300nA
加速电压
20V 至 30 kV
   
探测模式(可选)
 
In-lens(SE)
正光轴 in-lens 二次电子探测
In-lens(EsB)
用于材料衬度成像的正光轴in-lens 能量选择背散射探测;in-lens SE 和 EsB 并行成像
角度选择背散射探测器(AsB)
用于晶体表面的结构分析。
3DSM 用于实时三维表面形貌成像。
STEM 低电压优化明场、4 象限暗场和大角度暗场透射成像。
   
选件(可选)  
ATLAS 大面积成像 用于大尺寸样品区域拼接。
原子力显微镜(AFM)技术 扩展扫描电镜性能,使其具有解析单原子层和检测表面磁性或局部导电率的能力。
局部电荷中和 可以实现非导电样品成像。
3View 原位超薄切片机可实现大体积软组织三维重构。