配备 GEMINI II 镜筒的 MERLIN 可以借助先进的探测模式和‘future assured’技术在单一系统平台上实现超快速分析与高分辨成像。
经过预校准的 GEMINI II 光学成像设置,如电压或探针电流,能够根据您的需求进行调整以满足应用和样品要求,且无需再重新校准。即便无经验的用户也能获得最佳成像结果。经系统优化后的高束流密度、300 nA 探针电流及高束流下的超高分辨率,确保了在纳米级分析应用中的快速成像。
利用 正光轴 in-lens 二次电子(SE)探测与能量选择背散射(EsB)探测获取最丰富的样品信息,用以检测材料组份中最细微的差异。
Merlin具有全方位的灵活性,满足您的各种应用需求,Merlin借助模块化的样品室设计、可变压力选件,15个端口及一系列特定应用模块,如原子力显微镜(AFM)、原位超薄切片机、大面积成像以及能够轻松应对非导电样品的局部电荷中和模块,它能够升级成为一个综合的纳米分析平台。
参数 | |
分辨率 |
高达 0.6nm(STEM 模式) |
探针电流 |
高达 300nA |
加速电压 |
20V 至 30 kV |
探测模式(可选) | |
In-lens(SE) | 正光轴 in-lens 二次电子探测 |
In-lens(EsB) |
用于材料衬度成像的正光轴in-lens 能量选择背散射探测;in-lens SE 和 EsB 并行成像 |
角度选择背散射探测器(AsB) | 用于晶体表面的结构分析。 |
3DSM | 用于实时三维表面形貌成像。 |
STEM |
低电压优化明场、4 象限暗场和大角度暗场透射成像。 |
选件(可选) | |
ATLAS 大面积成像 | 用于大尺寸样品区域拼接。 |
原子力显微镜(AFM)技术 |
扩展扫描电镜性能,使其具有解析单原子层和检测表面磁性或局部导电率的能力。 |
局部电荷中和 |
可以实现非导电样品成像。 |
3View | 原位超薄切片机可实现大体积软组织三维重构。 |