PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉仪的另一个型号，有助于提高大口径光学元件面形测量的分辨率，适合数字加工以及高分辨系统的装调。

PhaseCam6110 ，采用光源与干涉仪分离的设计，主机尺寸较小，同样配有专用调整架，易于安装定位，便于五维调整，是凹面望远镜、透镜、离轴三反系统、卡式望远镜系统、长焦距平行光管、低温光学真空实验等测量的理想仪器。

PhaseCam6110的尺寸比PhaseCam6010稍大，具有更好的维护性。

常规属性

系统描述：对振动不敏感的泰曼格林型动态相移干涉仪

采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式

核心技术：相移干涉技术（PSI）

光源：稳频HeNe@632.8nm；可选波长 1550nm 

相干长度：>100m

光束直径：7mm 

偏振态：圆偏光

相机像素：2000×2000pixels， 12bit

外形尺寸：测量头：<38.9 x 15.7 x 9.1 cm 

                激光器： 48.3 x 20.3 x 11.9 cm 

系统性能

采集速率：>10帧/秒 （实时显示）

                 >15帧/秒 (后处理）

最小曝光时间：35微秒

样品反射率：1-100% （无需衰减）

RMS重复性：<0.001wave*

RMS精度：<0.002wave**

*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均

**采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果

配置选项

扩束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm 

球面扩束镜头：F/1 to F/32；可定制