NanoCam Sq采用相移干涉技术（PSI），精度更高，可达0.1nm；沿用4D技术公司的相位相关探测器的瞬时相移技术，可在振动环境下测量大口径光学元件表面粗糙度。

NanoCam Sq克服了传统粗糙度仪速度慢、使用复杂的缺点，其便携和抗振动的特性使NanoCam Sq在多种复杂工作场景——生产现场、龙门机器人、抛光设备旁、放置在大口径光学元件表面，都能进行高精度测量；可挂在机械手上对被测元件进行任意方位的测量。


常规属性

系统描述：对振动不敏感的动态表面轮廓仪

采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式

核心技术：相移干涉技术（PSI）

光源：460nm LED

相机像素：1.6MP, 12-bit

外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm

重量：4.6 kg

系统性能

最小曝光时间：<100µsec

垂直测量范围：115nm step 最大

RMS重复性：<0.005nm

RMS精度：<0.1nm


配置选项

物镜 ：可选0.9X，2X，5X，10X，20X，50X（相见列表）

三脚架：可选操纵杆控制的三脚架，带倾斜/俯仰/垂直调节

校准镜：超光滑参考镜

加长线缆：5m或10m

长工作距离干涉物镜



放大倍率

0.9X

2.0X

5X

10X

20X

50X

数值孔径

0.026     

0.055     

0.15      

0.30      

0.45      

0.8      

工作距离（mm）

15.0

23.0

23.0

17.0

0.51

0.29

460nm处的分辨率（um）     

8.8

4.2

1.5

0.77

0.51

0.29

空间采样（um）

8.2

3.7

1.5

0.74

0.37

0.15

视场角（mm）

9.9

4.4

1.8

0.90

0.44

0.18