激光反射式技术

适合超大尺寸可见光元件和系统的装调和检测

可增加短波红外、中波红外、长波红外模块


产品介绍

LAS-XUP是一个高精度超大口径、非接触式透镜装调和检查系统。核心技术基于激光反射测量原理。

应用:单镜片、双透镜、三片式和多透镜组的偏心和倾斜测量。被测量件半径范围为+/-1 mm至无穷大(plano),包括球形,非球面、圆柱形和抛物面。所有这些都可用一个物镜来完成,方便快捷地进行测量。

独特的激光光源模块设计,可以允许三种可见光波长中的两种(蓝色、绿色和红色),更好的匹配装配系统的中心波长。同时增加红外模块,装调红外光学元件和系统

常规属性

 LAS-XUP-VIS ™

核心技术:

激光反射式

可见光光学模块:标准可见光520nm(G)

可选可见光:可增加660nm(R)或460nm(B)

Z轴导轨:

标准2000mm,可选3000mm;带线性编码器

空气轴承:轴承大小:

600mm/800mm(高精度电动旋转)集成高精度角度编码器

转台大小:

标准600mm/800;可扩展到800mm/1000mm

承重:

1500kg

软件:

CalcuLens Assembly 主软件,装调时分别给出单镜片的偏心和倾斜

CalcuLens Inspection软件模块,装配完成后,对各镜片偏心复检分析


系统性能

检测面形:

球面、非球面、柱面、平面

被测面形半径:

±1mm 到无穷

镜片大小:

1mm到1000mm

倾斜精度(Tilt Accuracy):

可见光:±0.25 arcsec

红外:±1arcsec

偏心精度(Centration Accuracy):        

可见光:±0.1um

红外:±0.5um

顶点间距测量精度:

2.5um(with 20mm工作距离物镜)

曲率半径测量精度:

±0.05%(with 30mm工作距离物镜)       

光束偏离精度:

±30 arcsec


其他可选配置

LAS-XUP-VIS ™

红外光学模块:

 -SWIR (1550nm)

-MWIR(4.05um)

-LWIR(9.50um)

镜片中心厚及空气间隔测量模块DMI:

集合Fogale Lenscan镜面定位仪

绝对测量精度:

+-1um/+-0.2um

3D-SPM模块:

3D表面轮廓,适合非球面及自由曲面 

成像分析模块IAM:

测量轴上MTF、EFL、BFL、FFL等光学参数

非球面倾斜测量模块ATM:

测量非球面倾斜/偏心

USB电子测微仪(CalcuSurf-1D™):       

带数字仪表和实时显示软件的USB杠杆探针,实时软件显示镜筒与镜片机械调整TIR          

CalcuLens™ Vertex:

镜片顶点-顶点距离测量模块

CalcuLens™ ROC :

镜片曲率半径测量模块

CalcuLens™ BD:

透镜光束偏离测量模块

LensHandler™:

透镜真空吸附及夹持工具

ROTOwand™:

透镜真空夹持工具