快速、精确测量非球面的倾斜
可单独整机使用，也可集成到LAS主机上，同时实现偏心和倾斜测量
非球面偏心倾斜测量精度优于0.2um 和 5 arcsec
系统性能
Aspheric Tilt Measurement (ATM) | ||||||||
| 偏心测量精度 | <0.2um | |||||||
| 倾斜测量精度 | <5 aresec | |||||||
| 测量时间 | < 2 min | |||||||
| 测量高度 | LAS-UP:1000mm LAS-P:500mm LAS-BT:250mm | |||||||
| 旋转机构 | 超精密气浮转台 | |||||||
| 承载 | LAS-UP：454kg LAS-P:226kg LAS-BT：57kg | |||||||
| 光学探头 | 偏心用LAS探头，倾斜用共聚焦传感器 | |||||||