采用光腔衰荡技术分别或同时测量高反/高透激光薄膜元件的反射率（R）、透过率（T）或光学损耗（δ，吸收与散射损耗之和），最高测量精度优于1ppm。
常规属性
| 型号 | HRM-λ | HRTM-λ | HRTM/M-λ |
| 功能 | R、T或δ测量 | R/T/δ同时测量 | R/T/δ高分辨成像 |
| 重复性测试精度 | ≤1ppm | ||
| 测试波长 | 635nm, 1064nm, 1315nm或客户定制 | ||
| 测试样品口径 | Φ5mm~Φ500mm（依客户需求） | ||
| 测试角度 | 5°~45°（依客户需求） | ||
| 测量动态范围 | 高反元件R或高透元件T：99.8%~≥99.9999% 高反元件T或高透元件R：0.2ppm~2000ppm 高反元件或高透元件δ：0.2ppm~2000ppm | ||
| 最高空间分辨率 | 优于100μm | ||
典型应用