ISARA400是一台多探针3D坐标测量机,能够实现对大口径和复杂工件( 自由曲面) 的纳米级测量。借助独有的全方位探针技术,ISARA400还可以测量工件的几何形状,包括平面、孔类及曲面等,并且拥有其它传统坐标测量机无法比拟的精度。
产品特性
◆ 以纳米级分辨率,3D测量复杂表面与自由曲面光学器件的度量工具
◆ 在所有三个方向上的测量不确定度均低至50 nm(1D)
◆ 与同类三坐标测量机相比,测量范围显著增加到400 x 400 x 100 mm
◆ 将参考光学表面转化为机械参考的能力
◆ 完全可追溯的测量
◆ 多探针仪器,通过运动型探针支架实现
◆ 所有导轨均带有多孔介质空气轴承,可实现平稳、无摩擦的运动,是3D扫描测量的理想之选
应用范围
◆ 大口径光学元件面形测量
◆ 几何形貌测量
◆ 自由曲面光学点阵测量
◆ 阵列小工件测量
◆ ( 超) 半球的面形测量
◆ 非球面镜和模型的扫描测量
性能参数
测量系统 | |||
激光干涉测量分辨率 (X, Y 与Z) | 1.6 nm | ||
1D 测量不确定度 (如:单方向一维测量) | X 轴 | Y 轴 | Z 轴 |
52nm | 49nm | 57nm | |
2D 测量不确定度 (如:二维轮廓测量) | XZ 轴 | YZ 轴 | XY 轴 |
72nm | 70nm | 71nm | |
3D 测量不确定度 (如:三维自由曲面测量) | 109nm | ||
测量范围(XYZ) | 400mmX400mmX100mm |