ISARA400是一台多探针3D坐标测量机,能够实现对大口径和复杂工件( 自由曲面) 的纳米级测量。借助独有的全方位探针技术,ISARA400还可以测量工件的几何形状,包括平面、孔类及曲面等,并且拥有其它传统坐标测量机无法比拟的精度。


产品特性

 ◆ 以纳米级分辨率,3D测量复杂表面与自由曲面光学器件的度量工具

 ◆ 在所有三个方向上的测量不确定度均低至50 nm(1D)

 ◆ 与同类三坐标测量机相比,测量范围显著增加到400 x 400 x 100 mm

 ◆ 将参考光学表面转化为机械参考的能力

 ◆ 完全可追溯的测量

 ◆ 多探针仪器,通过运动型探针支架实现

 ◆ 所有导轨均带有多孔介质空气轴承,可实现平稳、无摩擦的运动,是3D扫描测量的理想之选


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应用范围

 ◆ 大口径光学元件面形测量

 ◆ 几何形貌测量

 ◆ 自由曲面光学点阵测量

 ◆ 阵列小工件测量

 ◆ ( 超) 半球的面形测量

 ◆ 非球面镜和模型的扫描测量


性能参数

测量系统

激光干涉测量分辨率

(X, Y 与Z)

1.6 nm
1D 测量不确定度

(如:单方向一维测量)

X 轴Y 轴Z 轴
52nm49nm57nm
2D 测量不确定度

(如:二维轮廓测量)

XZ 轴YZ 轴XY 轴
72nm70nm 71nm
3D 测量不确定度

(如:三维自由曲面测量)

109nm
测量范围(XYZ)400mmX400mmX100mm