离子束与等离子体及其控制，是scia的技术核心，其所有设备的独特之处，都在于此。
产品介绍
微波MW离子源采用电子回旋共振ECR激发等离子体，不仅有圆形口径，也有长条矩形源，矩形源可以通过增加射频头来增加长度，最长可达2m。
系统参数
scia 微波离子源 MW系列 | |||
MW120-e | MW218-e | LIN380-e | |
离子源形状 | 圆形 | 圆形 | 长条形 |
离子束尺寸 | Φ110mm | Φ218mm | 110mm x 380mm 长度方向可 延，以 200mm 延长单 元，最长可达 1780mm |
ECR激发 | 采用永磁铁的电子回旋共振（ECR) 激发等离子体 | ||
阻抗匹配 | 自动调谐 | ||
离子能量 | 100 -2000 eV | 50 - 2000 eV （最高可达 3000 eV） | |
离子束密度 | 1mA/cm2（平面栅网） | 0.01 - 2.2 mA/cm2 | |
离子束均匀性 | 10%（ф60mm内） | 2.5%（ф150mm内） | |
栅网系统 | 3-grids、石墨、钼 | ||
栅网与离子束形状 | 平行离子束、不同焦距的会聚离子束 | 平行离子束、ID不同焦距的会聚离子束 | |
适用气体环境 | 惰性气体（如 Ar、Kr、Xe） 反应气体（如 N2、O2、Cl2、CF4/O2、H2、SF6） | ||
应用 | 离子束刻蚀（IBE/IBM）、辅助镀膜、清洁 | 大面积溅射镀膜、 大面积辅助镀膜或清洁、 大面积刻蚀或微结构制造 | |