结构概述:
台板采用了高性能的不锈钢蜂窝内芯技术,采用了具有阻尼效果的粘接工艺,使台板具有结构性阻尼与宽频带阻尼效果,能有效抑制台板共振的幅值;它分别由以下几部分粘接而成,分别由高导磁性430不锈钢板面板,钢制底板,蜂窝内芯,阻尼边框板,密封防尘杯,装饰铝塑板组成。
蜂窝内芯采用的是冲压梯形钢板以及加强钢板相互粘接;梯形钢板内部经冲压形成有规律的凹槽,相比传统蜂窝芯板的抗压与抗弯强度有所增大,从而进一步提高蜂窝芯板的强度;相比传统大间距网格内芯结构台板在降低了芯板质量比的情况下使刚度最大化。
蜂窝内芯采用了高密度单元蜂窝结构设计,相对于其他形式内芯结构,具有蜂窝密度高、承载能力强、抗腐蚀、防尘防声波空腔共鸣、应力小等特点,有效地保证了台板表面保持长期稳定的平面度。
整体台面每个螺纹孔下均安装防尘杯,能有效避免液体、灰尘、小型物体等进入蜂窝芯内部,便于清洁,有效的保证超净间的环境要求。
材质特性:
SUS430不锈钢面板,国标GB/T 20878-2007为1Cr17;具有良好的耐腐蚀性能和导磁、导热性能;属于铁素体不锈钢,导热性能优于奥氏体,耐热疲劳性能好,
特点:
1 阻尼结构工作台板,可消除表面共振
2 台板可选(蜂窝系列/刚性系列)
3 手动调平
4 可配套安装脚轮
蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板,台板强度高,稳定可靠;隔振支撑采用剪切型多层复合式橡胶隔振结构,维护调整工作量少,结构稳固可靠。
应用领域:
光学实验:
激光干涉,全息光学,光栅加工,光路实验等
半导体制造:
半导体、液晶检查装置,DVD制造,电子,掩膜分析,薄膜测试等
显微镜:
扫描显微镜,激光显微镜,光学显微镜,生物显微镜,工业显微镜,电生理实验等
测量仪器:
三坐标仪,坐标检测仪,尺寸检测仪,圆度仪等
性能指标:
固有频率 | 垂直:10~12Hz 水平:4~6Hz |
隔振方式 | 隔振橡胶 |
水平方式 | 手动调平 |
平台高度 | 800㎜ |
振幅 | ≤10μm |
台板平面度 | ≤0.05㎜/㎡ |
台板粗糙度 | ≤0.8μm,表面亚光处理 |