交叉滚子轴承线性平移台拥有不锈钢结构和低轮廓,且有单轴或多轴配置可供使用。交叉滚子轴承和精密制造轴承的参考面可按照线性运动,且每个轴保证<100 μrad 的偏差。

·       板超厚且安装孔较少,可实现较好的刚度和稳定性

·       不锈钢结构具有交叉滚子轴承,可实现高稳定性和刚度

·       坚固的线性行程经单独测试,可保证偏差小于100 µrad

·       左手和右手配置

参数