采用自主研发皮秒紫外激光器,光束质量好,功率稳定性高。
● 设备搭载双头四工位,DD马达旋转加工,节省上下料时间,实现无间断加工,有效提高加工效率,加工精度高,热影响小;
● 设备配置全自动上下料,可实现全自动加工;
● 设备机台均采用大理石石材,平面度好、不易变形、长期稳定性极佳;
● 设备装配CCD视觉定位,加工精度高;
| 产品型号 | LUS2330 | |
|---|---|---|
| 激光器参数 | 平均输出功率 | ≥5W |
| 脉冲宽度 | <10ps | |
| 单脉冲能量 | >25uj | |
| 激光波长 | 355nm | |
| DD马达 | 四工位系统 | |
| CCD系统 | 像素 | 1100万像素,定位精度3um |
| 定位精度 | ±4um | |
| 工艺指标 | 透过率 | >85%(sappire) |
| 电阻 | >11GΩ | |
| 粗糙度 | <10nm | |
| 加工头 | 调节方式 | 电动调焦 |
| 料篮 | 装料数量 | 1个料盘72片产品 |
| 通用指标 | 设备尺寸 | 1580mmX1700mmX1750mm |