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主要参数 (nm)MPT-1DN/RL010 MPT-1DN/RL025 MPT-1DN/RL050 运动自由度 X X X 行程范围
(μm±10%)10 25 50 位移分辨率
(nm)1 2.5 5 重复定位精度
(nm)-/10 -/25 -/50 运动方向最大推力
(N)1000 1000 1000 运动方向最大拉力
(N)30 70 100 最大负载
(Kg)2.5 2.5 1.5 固有频率
(Hz)1450 900 400 重量
(g±5%)200 280 700 工作电压
(V)0～150 0～150 0～150 工作温度范围
(℃)-20～80 -20～80 -20～80 外型尺寸 A×C
(mm)60×50 80×70 100×90 外型尺寸 K×J
(mm)22×24.5 22×24.5 23×26.5 运动部分 B×D
(mm)30×30 45×45 70×70 运动部分 E×F
(mm)22×22 38×38 60×60 运动部分 G
(mm)27.5 40 48 安装尺寸 M×L
(mm)4.5×8 4.5×8 4.5×8 安装尺寸 I M4 M4 M4 模型下载 IGS IGS IGS