| |
位移分辨率(nm) 重复定位精度(nm)
主要参数MPT-1ZN/RL100 MPT-1ZN/RL200 MPT-1ZN/RL350 运动自由度 Z Z Z 行程范围(μm±10%) 100 200 350 10 20 35 -/100 -/200 -/350 最大负载(Kg) 1 1 1 重量(g±5%) 200 250 300 工作电压(V) 0～150 0～150 0～150 工作温度范围(℃) -20～80 -20～80 -20～80 外型尺寸 A×B×C(mm) 60×35×30 80×35×30 100×35×30 运动部分 D×E(mm) 20×10 20×10 20×10 外形尺寸 F×G (mm) 44×45 44×45 44×45 安装尺寸 H×I(mm) 50×20 70×20 90×20 安装尺寸 K M3 M3 M3 安装尺寸 J M3 M3 M3 模型下载 IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150
Z轴正负向运动可按照要求定制，默认为Z轴正向运动。