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主要参数
| MPT-1LN/RL060 | MPT-1LN/RL100 | MPT-1LN/RL140 | |
| 运动自由度 | Z | Z | Z |
| 行程范围（μ m±10%） | 60 | 100 | 140 |
| 位移分辨率（nm） | 6 | 10 | 14 |
| 重复定位精度（nm） | -/60 | -/100 | -/140 |
| 最大负载（Kg） | 1 | 1 | 1 |
| 静电电容（uF±10%） | 90 | 120 | 140 |
| 运动方向上刚度（N/μm±20%） | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 工作电压（V） | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃ ) | -20 ～ 80 | -20 ～ 80 | -20 ～ 80 |
| 外形尺寸A（mm） | 33 | 43 | 51 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150