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主要参数
| MPT-1UN/RL010 | MPT-1UN/RL025 | MPT-1UN/RL050 | MPT-1UN/RL100 | |
| 运动自由度 | X | X | X | X |
| 行程范围（μ m±10%） | 10 | 25 | 50 | 100 |
| 位移分辨率（nm） | 1 | 2.5 | 5 | 10 |
| 重复定位精度（nm） | -/10 | -/25 | -/50 | -/100 |
| 最大负载（Kg） | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 静电容量（μ F±10%） | 4 | 6 | 4 | 6 |
| 运动方向上刚度（N/μm） | 90 | 45 | 0.5 | 0.2 |
| 工作电压（V） | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃ ) | -20 ～ 80 | -20 ～ 80 | -20 ～ 80 | -20 ～ 80 |
| 外形尺寸A×B×C（mm） | 30×45×45 | 48×45×45 | 30×45×45 | 30×60×45 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150