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主要参数MPT-2JN/RL010 MPT-2JN/RL025 MPT-2JN/RL050 MPT-2JN/RL100 MPT-2JN/RL200 运动自由度 X,Y X,Y X,Y X,Y X,Y 行程范围
(μm±10%)10X10 25X25 50X50 100X100 200X200 位移分辨率
(nm)1 2.5 5 10 20 重复定位精度
(nm)-/10 -/25 -/50 -/100 -/200 运动方向最大推力
(N)1000 1000 1000 300 300 运动方向最大拉力
(N)200 250 250 45 50 最大负载
(Kg)0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 固有频率
(Hz)750 500 400 200 140 重量
(g±5%)300 400 800 950 1300 工作电压
(V)0～150 0～150 0～150 0～150 0～150 工作温度范围
(℃)-20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 外型尺寸 A×B
(mm)100×100 140×106 170×120 150×150 170×170 外型尺寸 C×D
(mm)84×84 124×90 148×104 140×140 160×160 运动部分 K×L
(mm)20×23.5 21×24.5 23×26.5 21×24.5 21×24.5 运动部分 E×F
(mm)40×40 55×55 70×70 45×45 50×50 运动部分 H×I
(mm)30×30 45×45 60×60 35×35 40×40 运动部分 G1×G2
(mm)40×40 53×53 60×60 80×80 90×90 安装尺寸 M×N (mm) 4.5×8 4.5×8 4.5×8 4.5×8 4.5×8 安装尺寸 J M4 M4 M4 M4 M4 模型下载 IGS IGS IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150