| |
主要参数运动自由度 位移量 (μm±10%) 组成模块 尺寸 A(mm) 尺寸 B(mm) 尺寸 C(mm) 模型下载 MPT-2MNL010 X 、 Y 10×10 MPT-1DNL010 60 50 51 IGS MPT-2MNL025 X 、 Y 25×25 MPT-1DNL025 80 70 51 IGS MPT-2MNL050 X 、 Y 50×50 MPT-1ANL050 100 90 51 IGS MPT-2MNL100 X 、 Y 100×100 MPT-1ANL100 120 110 51 IGS MPT-2MNL200 X 、 Y 200×200 MPT-1ANL200 150 140 51 IGS MPT-2MRL010 X 、 Y 10×10 MPT-1DRL010 60 50 51 IGS MPT-2MRL025 X 、 Y 25×25 MPT-1DRL025 80 70 51 IGS MPT-2MRL050 X 、 Y 50×50 MPT-1DRL050 100 90 51 IGS MPT-2MRL100 X 、 Y 100×100 MPT-1ARL100 120 110 51 IGS MPT-2MRL200 X 、 Y 200×200 MPT-1ARL200 150 140 51 IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150