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主要参数运动自由度 位移量 (μm±10%) 组成模块 尺寸 A(mm) 尺寸 B(mm) 尺寸 C(mm) 模型下载 MPT-3MNL010 X,Y,Z 10×10×10 MPT-1DNL010 60 61 91 IGS MPT-3MNL025 X,Y,Z 25×25×25 MPT-1DNL025 60 81 112 IGS MPT-3MNL050 X,Y,Z 50×50×50 MPT-1DNL050 62 101 132 IGS MPT-3MNL100 X,Y,Z 100×100×100 MPT-1ANL100 60 121 152 IGS MPT-3MNL200 X,Y,Z 200×200×200 MPT-1ANL200 60 151 182 IGS MPT-3MRL010 X,Y,Z 10×10×10 MPT-1DRL010 60 61 91 IGS MPT-3MRL025 X,Y,Z 25×25×25 MPT-1DRL025 60 81 112 IGS MPT-3MRL050 X,Y,Z 50×50×50 MPT-1DRL050 62 101 132 IGS MPT-3MRL100 X,Y,Z 100×100×100 MPT-1ARL100 60 121 152 IGS MPT-3MRL200 X,Y,Z 200×200×200 MPT-1ARL200 60 151 182 IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150