Atlas 由一台 16 位扫描发生器与双超大样品信号采集器组合而成，并配有蔡司电子显微镜图像处理与控制软件。采集图像分辨率高达 32 k x 32 k 像素，驻留时间从 100 ns 到 100 s 以上（以 100 ns 递增可调）。同时可以 8 位或 16 位保存图像。借助 Atlas “拼接工具”可以自动实现逐区块图像和逐点图像拼接，并以 SEM 纳米级分辨率在“超大视野范围”内建立大幅图像拼接。
Atlas 性能特点：
减少采集区块数量、降低样品台移动延迟及每幅图像重叠“损失”的面积百分比
减少重叠“接合处”的数量，从而减少样品因电子束而损伤区域
降低计算复杂度