其中XZ两轴均为电控运动，Z轴上悬挂载物台，载物台为三维手动调节。 主要参数： 直线移动：X、Z轴行程：100mm， 精度：0.005mm ； 俯仰调节：θX、θY调节范围 均为：±2°，精度：0.005°； 旋转调节：θZ调节范围：±2°， 分辨率：0.005°；