可以采用各种形式的专业观测仪器，对吸附于台面上的被测物体进行观测或其他工作。

下半部分是X、Y、θZ三维定位调整的不锈钢吸附台面,可吸附被检芯片或其他需要多维检测的物体。上半部分可以采用各种形式的专业观测仪器，对吸附于台面上的被测物体进行观测或其他工作。

主要参数： X、Y、Z轴行程：50mm， 单轴精度：0.002mm ；

θZ角度调节范围：360°（粗定位），±5°（微调）；