产品特征
楔形结构设计，两个压电马达驱动
断电自锁，无抖动，无回程间隙
最小步距小于20纳米
可选配光栅或磁栅位置反馈
结构紧凑，可与其他位移台组合成多轴模组
规格与技术参数
型号
VS-12
行程（mm）
12
马达型号
2xM304
最大负载（kg）
3
最大速度（mm/s）
50
最小步距（nm）
50
重复定位精度（um）
0.2
位置传感器
光栅或磁栅
主体材质
铝合金 阳极氧化
重量（kg）
2.5
几何尺寸（宽x深x高）
155x170x55
