产品特征：
压电马达驱动，马达可选M302/304
3mm交叉滚柱导轨
断电自锁，无抖动，无回程间隙
最小步距小于50纳米
可选配光栅尺或磁栅尺位置传感器
超薄设计，结构紧凑，高度41mm
适合用作各种显微镜和测试设备载物台
| 型号 | XY3-105-105 |
| 行程（mm） | 105x105 |
| 马达型号 | M304 |
| 最大速度（mm/s） | 100 |
| 轴向推力（N） | 16 |
| 最大负载（kg） | 5 |
| 最小步距（nm） | 50 |
| 重复定位精度（um） | 0.2 |
| 位置传感器 | 光栅尺/磁栅尺 |
| 主体材料 | 铝合金，阳极氧化 |
| 几何尺寸（款x深x高） | 200x200x42 |
| 重量（kg） | 6.1 |