WaferCheck 150半导体晶圆分析仪是一款测量半导体晶圆/太阳能电池的时间分辨光致发光(TRPL)的完整装置，操作简便。可以测量皮秒到微秒量级的半导体材料荧光 寿命，为晶圆外延片生产工艺优化控制提供快速可靠的数据反馈。采用时间分辨光致发光TRPL技术获得各点的寿命均匀度来可用来分析控制晶圆、太阳能电池的 质量，可为高效高质量生产提供可靠保证。

【产品特点】

• 激发光源采用超短皮秒脉冲激光器（FWHM可达50ps），波长375~810nm可选

• 使用时间相关单光子计数(TCSPC)的数据采集器PicoHarp 300

• MCP-PMT、PMT探测器可选

• 采用时间分辨光致发光TRPL技术获得各点的寿命均匀度来可用来分析控制晶圆、太阳能电池的质量，可为高效高质量生产提供可靠保证

【主要应用】

• 应用于测量时间分辨光致发光谱(TRPL)

• GaAs/GaN晶圆(太阳能电池)、LED、OLED等材料分析