THz扫描Fabry-Perot干涉仪（TSFPI）用于测量窄带THz辐射的波长和强度，TSFPI可以用于测量脉冲和连续窄带THz辐射，由两片半透明平行硅镜组成，其中一片安装在电机驱动线形驱动器上。THz辐射参数的测量通过可移动镜片的平移（扫描）来实现，如下图1：

图1：SFPI原理图

SFPI可以用于以下源的测量：

• 振动陀螺仪

• 光学泵浦亚毫米波激光器

• 反响波振荡器

• 自由电子激光器

• 差频THz产生器

• 混频THz产生器

• 量子级联激光器

• p-Ge激光器

• 新型THz辐射源

THz扫描F-P干涉仪还可以用于测量宽带THz源的波长和强度，每个F-P干涉仪透过光谱过滤THz辐射，如图2。

图2：使用MenloSystems TERA K8 TDS光谱仪测量TSFPI透过光谱@500μm镜片间距

TSFPI支持很多镜片移动模式，例如移动到指定位置，移动到指定举例，连续和周期移动。镜片移动速度，移动间隔，开始和结束位置等都可调。

图3为使用TSFPI测量光学泵浦亚毫米波激光器波长的测量结果。图上可以看出，相邻TSFPI透过最大距离约为216μm（433μm-216μm=217μm；647μm-433μm=214μm；865μm-647μm=218μm），对应激光器的半波长。这个结果与TSFPI透过率最大理论值相符：λ=2*d/m，d是TSFPI两个镜片间距，m是干涉级次，λ是测量波长。

图3：光声探测器Tydex GP-1P探测到信号幅度和TSFPI镜片间距的关系，THz辐射通过光泵浦亚毫米波激光器产生，λlas= 432 μm

性能参数：

主要特点：

• 宽工作范围0.1-15THz

• 高击穿阈值

• 大口径52mm

• 高镜片位置精度±1.25μm

• 使用简单

TSFPI包装包括以下部分：

• TSFPI干涉仪单元

• 供电和控制单元

• 镜片位移控制软件

• 连线

• 使用说明

TSFPI以下附件需要单独购买：

• 光声Golay探测器GC-1P/T/D

• BPF（带通滤波片）在0.1-15THz之间指定波长

• LPF（短波通滤光片）滤除IR辐射，截止频率为23.4THz，23.3THz，23.1THz，14.3THz，10.9THz，8.8THz，5.5THz，4.3THz，4THz，3.2THz。

• 一套衰减器具有1%，3%，10%，30%透过率

• TPX和HRFZ-Si透镜