μPhase®
高精度干涉仪
μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行最精确的评价。μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
产品特点
l 模块化设计，结构紧凑；
l 测量适用性强，保证可以在各种工作与生产环境中进行检测；
l 可测量反射率0.3%-100%的光学表面，覆盖范围广；
l 数字化测量，避免人为损坏；
l 完美的结构，全面的软件，为生产及实验室提供支持；
l 独一无二的的产品特点：泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机，为μPhase®系列干涉仪的使用提供了便利。
产品型号
l μPhase® 500
l μPhase® 1000
l μPhase® SPHERO UP
l μPhase® PLANO UP
l μPhase® Plano Down
l μPhase® Vertical
l μPhase® UNIVERSAL 100
l μPhase® Plano 300
技术规格
测量原理 | 泰曼格林型相移式干涉仪，可转成菲索型 |
测量能力 | 光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前 |
激光波长 | 标配632.8nm，335nm-1064nm间波长可选 |
PV重复精度 | λ/400（λ=632.8nm） |
RMS重复精度 | λ/6500（λ=632.8nm） |
测量不确定度 | λ/20（λ=632.8nm） |
相机分辨率 | μPhase® 500：500×500像素 μPhase® 1000：1000×1000像素 |
数字化位 | 8位 |
激光器类型 | 稳频氦氖激光器 |
激光器防护等级 | 3A |
μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down
l 用于测量不同的平面和球面光学零件
l 操作直观而简单，适合非专业人士操作
l 测量范围：
μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm—225mm，直径最大55mm
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
l 结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合
μPhase® Vertical
l 适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
l 立式检测，结构紧凑，占地面积小
l 标配一个沿Z轴方向电动平移的平台，可选配第二个平台
l 倾斜及X/Y平移精调
l 可完成各种类型的反射与透射检测
l 可采用透射法检测双胶合透镜
l 凹面与凸面球面镜的检测范围：标准曲率半径范围：1mm-225mm，直径最大55mm（采用50mm物镜μLens PLANO 50）
l 集成半径测量单元
l 可选CGH，用于测量非球面、柱面、轮胎面等
l Z轴方向设置导轨电机，电动升降
l 曲率半径实现一键式自动测量
μPhase® UNIVERSAL 100
l 用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
l 球面测量范围：凹面曲率半径最大-3000mm（提供相应导轨）
l 平面测量范围：最大98mm
l 半径测量系统集成导轨和光栅尺
l 适合长焦光学零件和系统的检测
l 与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
l 可选旋转对称非球面的检测配件，检测范围10mm-80mm，CGH检测轮胎面、柱面等
μPhase® Plano 300
l 理想的大型平面的检测系统，光学材料的均匀性检测系统
l 理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
l 测量范围60-300mm
l 立式检测系统，其它检测方式根据要求可订制
l 具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。