SHR激光波长计可以方便的测量脉冲和连续激光器的波长，精度达到+/- 3pm，整个波长范围是190-1100nm。光学分辨率(FWHM)可以达到30000(λ/Δλ(FWHM))，在紫外段，可以达到6pm，在近红外波段可以达到40pm。SHR激光波长计由于其快速测量的特点，也可以用于在线测量。
SHR激光波长计并不是用于一般的宽光谱测量，但是，它凭借中阶梯光栅，可以很好的用于分析窄波长的产品－在UV短的峰展宽0.5nm到近红外波段的18nm。
特点：
l 准确度高、光谱范围宽
l 光谱分析
l 连续或脉冲激光测量
l 紧凑设计、无移动部件
l 带衰减器的光纤输入
l 友好的操作软件界面
技术参数：
操作模式 | 连续或脉冲 |
光谱范围 | 190 - 1100 nm |
精度 | ± 3 pm |
光谱分辨率 | 30 000 |
光源线宽要求 | ≤125 см-1 |
衍射光栅 | 小于 0.5 mW @ 632.8nm |
灵敏度 | 7 ms |
光学接口 | SMA-905，光纤直径400 um , 长1000mm ,衰减器 FA-3 |
计算机接口 | USB |
软件 | WLMeter |
尺寸和重量 | 165 х 215 х 90 mm; 2.6 kg |
WLMeter软件：
SHR激光波长计光学分辨率 SHR激光波长计最大
193.3nm ArF 测量，可接光纤，也可接光学端口
Diode laser λcenter=655.25nm, FWHM<0.022nm. 单个模式间隔170pm