技术参数 | GW81-012
平行差小于1分表面面型1波长@633nm
中心厚度误差±0.1直径误差+0.0/-0.1
材料硅 (Si) 单晶镀膜无镀膜
厚度 T2.00mm直径12.50mm
表面光洁度3-4级倒边保护性倒边0.2mmX45