主要参数：

移动方向：XY(直线)、θX(俯仰)、θZ(旋转)

调节范围：XY：50mm、θX：±10°、θZ：360°

最小分辨率：XY：2um、θX：0.005°、θZ：0.005°

SM12 400口径真空四维调整架 

       真空用四维调节台，用于装夹400×400mm的方镜片，二维电动角度（俯仰和旋转）调节，二维直线运动（前后和左右）调节。