主要参数:
移动方向:θX(俯仰)、θZ(偏摆)
调节范围:θXθZ:±1°
最小分辨率:θXθZ:0.001°
SM27 小型二维电动阵列镜架
4个方形镜片阵列调整架,采用电动角度调节形式,体积紧凑,分辨率高,可以在真空中使用。通过控制器控制电机实现光路的同步反射。