主要参数：

移动方向：θX(俯仰)、θZ(偏摆)、X(平移切换)

调节范围：θXθZ：±2°、X：500mm

最小分辨率：θXθZ：0.005°、X：5um

SM28 18路方镜片阵列调整架

      四排共18个60×80镜片镜架阵列，手动调节镜片的俯仰和偏摆角度。底座是一个电动500mm行程移动台，负责将镜架整体平移切换。