左、右侧三维电动部分主要参数：

X、Y、Z 行程：12.5mm

            分辨率：0.5um

重复定位精度：±1.5um

中间二维调节部分参数：

X方向行程：6.5mm，  分辨率:2um

θZ(旋转)范围：360°， 分辨率:0.2°

SO3 电动光纤波导耦合台

      电动光纤波导耦合台，左右侧分别是电动三维光纤调节架，夹持光纤进行准直和偏振；中间是放波导等器件的二维调节台。底部是一个导轨基座，用于大范围调整耦合的距离。