主要参数：
右侧装置（安装探测器等）：
X、Z电动直线台行程均为：300mm ；   重复定位精度均为：0.004mm

Y轴手动行程：25mm ；    分辨率：0.002mm

左侧装置（安装被测器件）：
直线移动：X轴电动平移台行程：150mm；    重复定位精度：0.002mm
电动旋转调节：θY调节范围为40°；    θZ调节范围为360°；    分辨率：0.0005°
夹具夹持直径范围：φ60～φ150

SJ10 多维复合检测用调整装置

    该检测装置主要由左右两个部分组成。右侧装置由XZ二维电动平移台与沿Y轴一维手动平移台组成,是探测器夹持部分。左侧装置由二维绕Z轴电动360°转台、一维倾斜转台、X轴一维电动平移台及特制夹具组成检测平台用于夹持被检测物体。